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内容摘要：
均有自定规格，但普遍依据美国联邦政1府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E， 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，10000级无尘车间，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室z大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是......
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