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内容摘要：
国内压力传感技术的不足之处近30年来，经过科技攻关，敏感元件与传感器的制造技术有了长足的进步，在设计、关键工艺、可靠性、产品开发等方面均有不同程度的突破与。如“九五”攻关完成的传感器 CAD 技术，可以实现传感器的全过程设计（即从工艺模拟到核心器件设计，再到结构设计，到温度补偿）；微机械加工技术，在国内实现了用微机械加工工艺批量生产压力传感器；开发出了包括力敏、磁敏、热敏、湿敏、气敏等在内的多个品......
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