内容摘要:
洁净室控管项目 1、能除去空气中飘游之微尘粒子。 2、能防止微尘粒子之产生。 3、温度和湿度之控制。 4、压力之调节。 5、 有害气体之排除。 6、结构物与隔间之气密性。 7、静电之防制。 8、电磁干扰预防。 9、安全因素之考虑。 10、节能之考量。静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),洁净室造价,但是设施内没有操作人员。 洁净室......
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