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内容摘要:
真空镀膜蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,东莞真空镀膜厂,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质。电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质。③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不2000[618-1])的材料,东莞镀膜厂,即用电子束轰击材料使其蒸发。 真空镀膜PVD即物理气......
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