内容摘要:
镀膜设备的真空系统的安装目前,真空镀膜技术的应用非常广泛,而真空镀膜技术是借助真空镀膜设备完成的。为了满足工艺的要求,就需要获得一定的真空度,而真空度需要真空系统实现。真空系统主要由真空泵、过滤器、冷凝器等组成。为了得到满意的真空度,真空系统在安装时需要注意以下问题:1、保持真空卫生从事真空镀膜的车间环境要保持清洁。为避免将污物带入系统成为放气源,影响真空度,装配组件和材料前,需要对它们进......
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