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内容摘要：
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，WY200真空泵，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，W5往复式真空泵，也能达到清洁真空要求。6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，W3往复真空泵，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的......
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