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内容摘要：
罗茨真空泵抽气腔内无任何辅助液体，对工艺气体不产生污染。真空泵抽气腔两端的轴承及齿轮需要油润滑，但油腔与抽气腔间有轴封隔开。 气体在罗茨真空泵内虽然不产生内压缩，但在排气时会发生外压缩，压缩热会使转子、泵体及真空油温度升高，所以除个别小抽气量罗茨泵无水冷外，均在油腔内加有水冷装置罗茨真空泵抽气腔内无任何辅助液体，对工艺气体不产生污染。真空泵抽气腔两端的轴承及齿轮需要油润滑，但油腔与抽气腔间......
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