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内容摘要：
???? 吸气剂泵的原理是使用钨丝或直接通电的方式加热，使得膜材蒸发或升华，沉积在一个相对冷的表面上，形成新鲜的薄膜并吸附气体。吸气剂泵通常以钛、锶、镁、钙、钡、钽等金属为蒸发源，部分稀土族元素也有比较强的吸附作用。以吸气剂的代表钛升华泵为例，钛在升华和沉积时对氮、氧等活性气体有比较强烈的吸附作用，并形成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物。但对惰性气体几乎不吸附。钛膜吸附气体只能是单分......
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