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内容摘要：
分子泵 ?分子泵在国外半导体范畴里的许多工艺场所是用来替代低温泵，特别是溅射、刻蚀和LCVD等安装都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 ?由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了进步抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，锥体液环真空泵生产厂家，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低......
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