内容摘要:
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作范围的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。罗茨真空泵的优点是在较低的入口压力时具有较高的抽气速率,但它不能单独运用,必需有一台前级真空泵串联,待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许入口压力时,罗茨真空泵才干开端工作,并且在普通状况下,双......
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