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内容摘要：偏光计测模组是用CCD camera的1shot来获取多角度的偏光强度pattern，因与以往的偏光计测装置相比，RETS，其无偏光子回旋机构，故其可维持其的测定及稳定的性能。本Software自动制御偏光Prism unit和MCPD，测量LCD Cell Gap以及Pre-tilt角的测量。每个Sample品种，会准备Recipe（测量条件File）所以Operator 放置Sample后，选......

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