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内容摘要：
纳米电热膜发热元件是一种多晶硅半导体电热新材料,它利用硅有超低电阻率的特点，同时在硅元素中按比例掺台金属和非金属元素后，利用气相沉淀法，经过800o加热后，反应成为硅导化合物，使其沉积在载体内表层同时获得沉积3-5微米厚的导电发热膜层。这种导电发热膜层与多晶硅板或多晶硅管成为一体，多晶硅板或多晶硅管既是导电介质的载体，同时也是绝缘体，在电加热工艺应用的广大行业里，具有的安全性。纳米电热膜发热元件，......
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