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内容摘要：
硅片上有了电路图的图样后，就轮到刻蚀机登场，刻蚀机相当于木匠的锯子、斧头、凿子、刨子。刻蚀机按图施工，在硅片表面雕刻出晶体管和电路。 芯片主要是精度要求高。纳米精度是什么概念呢？是我们肉眼无法分辨的，大概相当于一根头发丝的5000分之一纳米细小。 光刻机几个关键部件： 光源：必须稳定、高质量地提供指i定波长的光束。 能量控制器：就是电源。电源要稳定、功率要足够大，否则光源发生器没办法稳定工......
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