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内容摘要：
。三、肯定工作真空范围 ? ?首先必需检查肯定每一种工艺恳求的真空度。由于每一种工艺都有其顺应的真空度范围，必需认真研讨肯定之。 四、真空容积检查 ? ?肯定抵达恳求的真空度所需求的时间、真空管道的流阻与透露。思索抵达恳求真空度后在一定工艺恳求条件下维持真空需求的抽气速率。 五、肯定极限真空度 ? ?在肯定了工艺恳求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，由于系统的极限真空度决议了系......
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