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内容摘要：
压力衰减和质量流量测试?压力变化的方法是使用一个压力传感器、差压传感器或质量流量计测量压力的变化，压力变化是测试单元中气体体积发生变化引起的。压力衰减和质量流量泄漏测试，在测试周期中，而泄漏测试应用广泛的是直接依赖于工件温度和体积的稳定性。这些方法是基于理想气体法（PV=nRT）。在测试期间，工件温度和/或体积的轻微变化，都可能导致出现不合格的测试， 与工件体积、泄漏率和时间周期不一致。要......
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