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内容摘要：
真空镀膜光学镀膜机维护与保养光学镀膜机主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜（控制电柜、电子枪电枢）组成，其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有卓越的性能。光学镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度，材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大，东莞镀膜厂，蒸发出来的蒸......
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