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内容摘要：
不同材料的表面与等离子体的相互作用从技术和基础知识的角度提出了兴趣。在许多情况下，等离子体带来的变化可以改善材料的许多表面特性，例如粘附性，润湿性，润滑性等，uv光氧废气处理设备，这有利于它们在各种领域中的应用：微电子学，薄膜技术，生物医学等。??虽然氧化等离子体具有极强的化学反应性，uv光氧废气处理设备价格，但它具有某些特性，这些特性使其不仅可以通过蚀刻和溅射去除材料，还可以驱动和维持等离子体暴......
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