内容摘要:
玻璃缺陷方法,离子轰击处理:离子轰击或称离子蚀刻、离子溅射,在表面测试仪中常用来清洁样品表面。常用的溅射离子为Ar+,由离子枪加速,加速能量为500、104ev,工作电流为1、200A。溅射的Ar+可逐步剥去表面污染物质,有色玻璃,随溅射时间的延长,剥去的表面层深度也随之增加。在利用高能离子轰击玻璃污物的同时,也会使玻璃表面自身的一些组成蚀刻去,所以应控制适当的溅射速度和溅射时间,以获得清洁的......
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