内容摘要:
激光干涉仪组件 要测量线性轴的定位精度、重复定位精度和反向间隙等数据,工业激光干涉仪,需要使用激光测量系统的以下组件,主要有:XL 激光头、三脚架和云台、XC 环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学......
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