内容摘要:
磁控溅射镀膜仪应用广泛目前我国磁控溅射镀膜仪市场销售非常火热,这是一项热门的新技术,它带给企业和厂家的不仅仅是技术,还能够节省大量的人工运作成本,因此深受广大用户的青睐。磁控溅射镀膜设备可制备多种薄膜,不同功能的薄膜,还可沉积组分混合的混合物、化合物薄膜;磁控溅射等离子体阻抗低,从而导致了高放电电流,在约500V的电压下放电电流可从1A 到100A(取决于阴极的长度);成膜速率高,沉积速......
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