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磁控溅射镀膜机?以下内容由创世威纳为您提供,今天我们来分享磁控溅射镀膜机的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!真空镀膜机利用这种溅射方法在基体上沉积薄膜是1877年问世的。但是,利用这种方法沉积薄膜的初期存在着溅射速率低,成膜速度慢,并且必须在装置上设置高压和通入惰性气体等一系列问题。因此,发展缓慢险些被淘汰。只是在化学活性强的金属、难容金属、介质以及化合物等材料上得到了少量的应用。直......
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