内容摘要:
可按以下方式开展内置,激光干涉仪检测,以防止激光干涉仪以该点定0点时造成的潜在性的死程偏差①把挪动光学镜放到纵坐标0点部位上;②激光干涉仪定0点;③把挪动光学镜健身运动到纵坐标另一头(使2个光学镜尽可能贴近),留意要维持......
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