内容摘要:
电子厂房净化空调工程改造设计该厂房位于天津市开发区,建于1995年,主要生产半导体芯片。系统总面积1510m2, 其中空调面积385m2,净化面积1125m2,净化级别除黄光室为千级外,手套式超净工作台,其余均为万级。 1.2 系统存在的主要问题 (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构, 其余房间均为敞开式,净化区域与非净化区混合在一起,系统较为混乱,难以控制和调节,净化区域的洁净度......
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