内容摘要:
激光干涉仪死程误差的影响:1、影响因素:死程是在使用EC10自动补偿的方式进行位置准确度测量中随环境参数的变化而产生的一种误差。由于在定“零点”时,固定光学镜和移动光学镜之间存在一段距离,EC10无法对“零点”和固定光学......
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