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内容摘要:
真空镀膜机工件除气的必要性和真空镀膜机分类介绍真空状态是支持真空镀膜机运作的环境,特别是需要高真空度的设备,通常我们需要达到高真空度,抽气系统的作用是功不可没的,但除了抽气系统外,在真空镀膜设备运行的过程中,还有一点就是,工件的除气。有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等,这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中,降低了真空度,更甚者,有些气体带有毒性成分,直接损害到真空室内部......
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