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内容摘要：
真空镀膜设备维护保养真空镀膜设备镀制两百次以上应当对真空室进行清洁，使用清洗液：NaOH饱和溶液，步骤，反复擦洗真空室的内壁。注意事项：NaOH溶液对人体皮肤有灼伤效果，不可直接接触。真空镀膜设备的真空泵（包括机械泵、旋片泵、扩散泵、滑阀泵等）连续工作了一个月以上需要更换新油（视情况而定，如油明显不足应及时添加不应死板），真空泵用久了抽真空速度会明显变慢，使用三个月至半年应该清洁油箱......
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