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内容摘要：
真空镀膜设备的正常工作条件真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。那么，真空镀膜设备的正常工作条件有哪些？我们一起来看看吧：1、环境温度：10~30℃2、相对湿度：不大于70%3、冷却水进水温度：不高于25℃4、冷却水质：城市自来水或质量相当的水5、供电电压：380V，三相50Hz......
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