主营产品:磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE
内容摘要: 等离子刻蚀机创世威纳——感应耦合等离子体刻蚀供应商,我们为您带来以下信息。等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,感应耦合等离子体刻蚀机工作原理,是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释......

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