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内容摘要：
离子束刻蚀机离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件，将工件上的材料溅射出来，实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程，在各种常规刻蚀方法中具有分辨率较高、陡直性较好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除，尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀，如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！ 刻蚀刻蚀，英文为Etch，它是半导体制造工艺，微电子IC制......
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