内容摘要:
刻蚀过程普通的刻蚀过程大致如下:先在表面涂敷一层光致抗蚀剂,然后透过掩模对抗蚀剂层进行选择性曝光,离子束刻蚀机厂家,由于抗蚀剂层的已曝光部分和未曝光部分在显影液中溶解速度不同,经过显影后在衬底表面留下了抗蚀剂图形,以此为掩模就可对衬底表面进行选择性腐蚀。如果衬底表面存在介质或金属层,则选择腐蚀以后,离子束刻蚀机价格,图形就转移到介质或金属层上。以上就是关于刻蚀过程的相关内容介绍,如有需求......
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