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内容摘要：
离子束刻蚀速率创世威纳——离子束刻蚀机产品供应商，我们为您带来以下信息。刻蚀速率是指单位时间内离子从材料表面刻蚀去除的材料厚度，大样片离子束刻蚀机，单位通常为A/minnm/min.刻蚀速率与诸多因素有关，包括离子能量、束流密度、离子入射方向、材料温度及成分、气体与材料化学反应状态及速率、刻蚀生成物、物理与化学功能强度配比、材料种类、电子中和程度等。 离子束刻蚀离子束刻蚀技术是近年来发展......
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