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内容摘要：
磁控溅射镀钛薄膜通什么气体？1.镀金属膜时，一般用气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。一般来讲，气是调节炉体压力的，对颜色影响是不明显的！2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。氮气一般是增加黄色b值，例如锆，氮化锆是金黄色的！ 涂层可以提高模具表面硬度，同时改善模具工作环境，比如，降低模具工作温度温度，易于脱膜等。PVD即物理气相沉积，是当前国际上广泛应用的的表面处理技术。其工作原理就是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。它具有沉积速度快和表面清洁的特点，冲棒镀钛，特别具有膜层附着力强、绕射性好、可镀材料广泛等优点。PVD涂层......
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