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内容摘要：
LED曝光机性能指标:光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围，手动曝光机价格，分辨率，对准精度，曝光方式，光源波长，手动曝光机厂，光强均匀性，生产效率等.分辨率是对曝光工艺加工可以达到的细线条精度的一种描述方式.曝光的分辨率受受光源衍射的限制，所以与光源，光刻系统，光刻胶和工艺等各方面的限制.对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度.曝光方式分为接触接近式，投影式和直写式.曝光光源波长......
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