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内容摘要：
靶材绑定服务1绑定服务Bonding为了避免脆性金属、合金、氧化物等易裂材料在使用过程中裂靶，中诺新材可为客户提供绑定（Bonding）服务，把靶材绑定在铜背板上，高纯钽，除了具有保护靶材免于运送或者拿取中的意外开裂，也可确保靶材的冷却及电接触良好，并可改善靶材使用时机械强度不足的问题或解决大尺寸面积靶材受限的问题。一般靶材绑定用的背板为金属铜， 金属钛，金属钼和不锈钢，背板是在溅射时支......
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