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内容摘要：
自动: 指的是从基板的上载下，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要.UV-LED曝光机工作原理:在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，LED曝光机厂，从而在抗蚀剂上形成精细图形. 东莞市和川机械设备科技有限公司是较早从事冷光源......
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