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内容摘要：
在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，UV曝光机生产厂家，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形.操作简便，晒版光源采用快启动型高功率紫外线灯管，光强稳定均匀，紫外线光谱分布与印版的特性相吻合，辅以性能稳定的真空压缩机系统，真空吸附，复原性能特佳，有效保证了晒版速度快，UV......
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