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内容摘要：
高纯气体配管及附件材质的选择选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则......
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