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内容摘要：
高纯气体管道系统的配管高纯气体管路的设计要点：1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，温州高纯氦气，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，高纯氦气批发，成本越高，高纯氦气多少钱一瓶，风险也越高，通常......
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