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内容摘要：
光刻技术能够 说每一构件全是技术含量很高，步步重重困难。短板关键集中化在镜片、掩膜版、灯源、动能控制板等。下边简单单详细介绍光刻技术的构造和原理：光刻技术的灯源有：激光器，紫外线、深紫外线、极紫外线。如今优i秀技术性是极紫外线。图为要以激光器为灯源的光刻技术简单工作中电路原理图：在生产制造集成ic时，i先在圆晶（硅芯片）表层涂光感胶，再用光源穿透掩模板（等于集成ic电路图纸的胶片照片）直射硅片表层......
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