内容摘要:
光刻板业界别称光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金属铬和光感应胶,该商品是由石英玻璃或是碳酸钠夹层玻璃做为衬底,在其上边镀上一层层金属铬和光感应胶。(光感应胶别称光致抗蚀剂,是运用光化学反应开展图型迁移的新闻媒体性精细化学品,掩膜版,依据不一样的主要用途特性等有多种多样型号规格,现阶段光掩模板大部分全是用的正性胶。光刻正性胶在经激光器直射后,曝i光区域......
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