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内容摘要：
广州帕纳光电科技有限公司----磁悬浮分子泵维修；涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到抽速的压力......
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