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内容摘要：
? ??目前国外电动位移台的研究非常成熟，不管是驱动还是传动方式研究都比较深入，在国内这方面的知识还比较欠缺，但是经过科研人员的不断努力，国产的电动位移台也具有超，可以进行多方面的测量。? ??在国内生产的电动位移台采用的系统，选择直线空气导轨，以及超精密音圈电机为驱动，电动位移台长行程，分辨率比较高，可以达到0.5nm，相应时间也比较短，一般小于0.5ms，可以进行高精密运动，所以使用范围比较广......
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