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内容摘要：
Foundry在流片时，由于版图效应（LDE），终加工的版图在尺寸和金属属性上会有偏差。偏差导致实测结果和EDA结果有差异，所以设计阶段的EM建模会不精准，增大流片失败风险。在工艺上，LDE问题更加显著。在EM建模中，如果EM工具能考虑LDE问题，验证就能更接近实测值。Foundry提供的PDK会有LDE信息，主要是涵盖下面几点：（1） ?体电阻率随线宽、线间距不同的差异表；（2） ?方块电阻随线......
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