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内容摘要:
体电阻率和方块电阻是一个意思,终都会折算到金属电导率,其差异变化会影响金属层电导率波动。电导率波动会直接影响EM结果,例如器件损耗等;线宽波动也会直接对EM结果带来差异影响,例如L、Q等。下面截图是PDK中LDE信息:Peakview软件的配置文件中考虑了LDE,保证精度更接近实测结果。在当前的工艺中,更能提升流片成功率。在一些7nm等工艺中,PDK信息是加密的,这种LDE信息已不能靠人工处理,p......
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