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内容摘要：
气体通分析：高纯气体的原材料难以再产高纯原料气体的质量对标准气体制备的准确性，起着至关重要的作用，原料气的不确定是构成标准气体合成不确定度的极为重要部分，高纯气体厂家，因此，没有高质量的高纯原料气，就根本制备不出高准度的标准气体。也正因如此，我国早在八十年代，为了标准气体的需要，原化工部对我国的高纯气体研制进行了多年的资金支持。 一般半导体气体的分类如下。(1)、腐蚀性/毒性: HCl、BF3、W......
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