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内容摘要：
广州帕纳光电科技有限公司----STP-301磁悬浮分子泵维修；一切正常工作中时必须一定的前面真空值，其真空值高矮视泵不一样略微差别，一般在1-201080a中间，可选用机械泵做为前面泵，下面图中便是由玛丽亚分子泵和机械泵构成的高真空机组。因为涡轮分子泵的转速比高，一般 用高频电动机推动，中频感应炉的頻率在300-400HZ中间。涡轮分子泵一般选用水冷散热方法。STP-301磁悬浮分子......
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