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内容摘要：
检测项目洁净工作台检测检测项目1、风速a)在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积，各面积中心点即为风速测点。但各测点间距不应大于25cm；b)将各测点风速值计算出截面风速算术平均值及风速均匀率。2、悬浮粒子数a)吸风处的浓度（对于≥0.5um的粒子）不得小于35000粒/L；不能满足宜在吸风处发多分散气溶胶；b)在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面......
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