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内容摘要:
铝酸镧抛光情况:单抛或双抛 (<110> Ra<15A,<100>和<111> Ra<5A)。铝酸镧具有大的禁带宽度(5-6eV),高的介电常数值(~25)和很好的热稳定性使其成为替代Si基1金属-氧化物-半导体场效应晶体管中SiO2的zui佳替代材料。LaAlo3晶体的颜色与原料的纯度有着直接关系。若采用纯度≤99.9%原料或在生长过程中原料被污染,长出的晶体颜色较深,甚至是茶色。但采用......
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