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内容摘要：
普通气体电子工业中普通气体的分类:普通气体，滁州高纯气体，又称本体气体:氢( H2)、氮( N2)、氧( O2)、ya( A2)等。特殊气体( Specialty gas )主要为SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4N h3po cl3si h2 cl2si HCl3n h3bcl3s if4c l3co2f6n2o2hfhbrfsf6...等等。 特殊气体的种类通常分为腐蚀......
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