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内容摘要：
洁净室中的温度控制主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，考虑到人的舒适度，随着空气洁净度的要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势，具体工艺对温度的要求以后还要距离，但作为总的原则来看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动的范围要求越来越小。洁净室的室内污染控制的主要功能，不干净的房间，污染敏感的部件不能大量生产。在FED-STD-2的洁净室的内部被定义为包括空气过滤器......
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